[发明专利]分配器和分配方法，等离子处理系统和方法，以及LCD的制造方法无效
| 申请号： | 200480042366.X | 申请日： | 2004-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1926714A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;后藤尚久;久我宣裕;广江昭彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;大见忠弘;后藤尚久 |
| 主分类号： | H01P5/12 | 分类号： | H01P5/12 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种分配器(30)，包括连接到微波振荡器(20)的方形波导管(31)和具有多个在窄壁(41B)中形成的开口(43)的方形波导管(41)。方形波导管(31)是中空的。相对介电常数为ε形波导管(41)中。两个方形波导管(31、41)的窄壁(31A、41A)互相接触，并且两个波导管(31、41)通过其相互连通的连通孔(32)形成于窄壁(31A、41A)中。即使连通孔(32)的宽度减小，两个波导管(31、41)的宽度也不在其连接部分处变窄。由此，可抑制能够通过连接部分的频带变窄。因此，能够减小在输入到分配器(30)的电磁波的频率改变时出现的反射损失。 | ||
| 搜索关键词： | 分配器 分配 方法 等离子 处理 系统 以及 lcd 制造 | ||
【主权项】：
1.一种分配器，其特征在于包括：输出电磁波的振荡器；被连接到所述振荡器的第一方形波导管；具有多个开口的第二方形波导管；其中，所述第一方形波导管和所述第二方形波导管通过在所述第一方形波导管和所述第二方形波导管中的每个的一个窄壁中形成的连通孔互相连通。
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