[发明专利]分配器和分配方法,等离子处理系统和方法,以及LCD的制造方法无效
| 申请号: | 200480042366.X | 申请日: | 2004-03-10 |
| 公开(公告)号: | CN1926714A | 公开(公告)日: | 2007-03-07 |
| 发明(设计)人: | 大见忠弘;后藤尚久;久我宣裕;广江昭彦 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社;大见忠弘;后藤尚久 |
| 主分类号: | H01P5/12 | 分类号: | H01P5/12 |
| 代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 分配器 分配 方法 等离子 处理 系统 以及 lcd 制造 | ||
【说明书】:
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