[发明专利]用在缺陷自动分类中以知识为主的资料库的学习方法

摘要

本发明涉及一种用于缺陷自动分类中以知识为主的资料库的学习方法。依据本方法，当本系统进行一种自动学习模式时，使用者可节省一系列的登入(entry)，这需要将使用者登入的数目减少。

主权项

1.一种用在缺陷自动分类中以知识为主的资料库的学习方法，其特征在于其包括以下步骤：选出一种覆查(review)-资料档，由使用者将参数和资料输入至学习模式的页面(50)上，这些参数和资料是使用者已熟知，起始一种对准-步骤以及一种对光的强度进行调整的步骤，藉由数个缺陷的驱动以自动地对照明的最佳强度进行调整且情况需要时调整至最佳的照明，依据数个例子来对此侦测进行检测，其中依据图像来使此侦测参数最佳化，自动对(各)晶圆的全部缺陷进行驱动，其中须侦测各别的缺陷且一种描述符(descriptor)分配至各别的缺陷，以及对各缺陷的描述符进行分析且进行自动分组。