[发明专利]基于带电粒子束的检查装置及采用了该检查装置的器件制造方法有效
| 申请号： | 200480019519.9 | 申请日： | 2004-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1820346A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 野路伸治;佐竹彻;曾布川拓司;金马利文;田山雅规;吉川省二;村上武司;渡边贤治;狩俣努;末松健一;田部丰;田岛凉;远山敬一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01L21/66;G01N23/225 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种用于进一步提高SEM方式的检查装置的检查速度、即提高生产率的方式。检查基板的表面的检查装置在电子源(25·1)产生的电子形成交叉后，向试样W的方向以期望的倍率成像来形成交叉。在使该交叉通过时用开口从该交叉中去除作为噪声的电子，将该交叉设为期望的倍率，将该交叉调整为平行的电子束并以期望的断面形状来照射基板。形成电子束，使得此时的电子束的照度不匀在10％以下。从试样W放出的电子由检测器(25·11)来检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 带电 粒子束 检查 装置 采用 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子束装置，包括：向试样照射电子束的单元；将通过向上述试样照射该电子束而得到了上述试样的表面信息的电子，引导到检测器的单元；以及将引导到该检测器的上述电子作为图像来合成的单元；其中，上述电子束在上述试样上照射的区域的上述电子束的照度是均匀的。
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