[发明专利]基于带电粒子束的检查装置及采用了该检查装置的器件制造方法有效
| 申请号： | 200480019519.9 | 申请日： | 2004-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1820346A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 野路伸治;佐竹彻;曾布川拓司;金马利文;田山雅规;吉川省二;村上武司;渡边贤治;狩俣努;末松健一;田部丰;田岛凉;远山敬一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01L21/66;G01N23/225 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 带电 粒子束 检查 装置 采用 器件 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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