[发明专利]在所测量的压力和参考室之间的压力均衡减少的硅压力传感器无效
| 申请号： | 200480004776.5 | 申请日： | 2004-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN1751232A | 公开（公告）日： | 2006-03-22 |
| 发明（设计）人： | 卡伦·伯克伦德;克里斯托弗·格雷森;皮明·龙巴克 | 申请（专利权）人： | 丹佛斯公司 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 丹麦*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 本发明涉及绝对压力传感器，该压力传感器具有两片相结合的晶片，其含有压力检测结构和形成参考压力室和缓冲室。由于缓冲室收集通过晶片之间的结合层渗透的分子，所以可以避免参考室中的压力升高。所以，该传感器更耐受压力室和周围的压力即所检测的压力之间的压力均衡，并且避免了对传感器反复的校正。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 压力 参考 之间 均衡 减少 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、一种压力传感器，包括第一晶片部件和第二晶片部件，二者之一包括至少一个压电电阻部件用于检测第一环境空间的压力和参考室的压力之间的差值，所述两个晶片具有接触表面，其中，当所述接触表面被结合来形成所述压力传感器时，所述接触表面中至少一个的表面结构形成所述参考室和缓冲室。
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