[发明专利]在所测量的压力和参考室之间的压力均衡减少的硅压力传感器无效
| 申请号: | 200480004776.5 | 申请日: | 2004-03-09 |
| 公开(公告)号: | CN1751232A | 公开(公告)日: | 2006-03-22 |
| 发明(设计)人: | 卡伦·伯克伦德;克里斯托弗·格雷森;皮明·龙巴克 | 申请(专利权)人: | 丹佛斯公司 |
| 主分类号: | G01L19/06 | 分类号: | G01L19/06;G01L9/00 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
| 地址: | 丹麦*** | 国省代码: | 丹麦;DK |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 测量 压力 参考 之间 均衡 减少 压力传感器 | ||
【权利要求书】:
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