[实用新型]一种制备大尺寸机械密封用各向同性热解炭材料的设备无效
| 申请号: | 200420113646.2 | 申请日: | 2004-11-24 |
| 公开(公告)号: | CN2753743Y | 公开(公告)日: | 2006-01-25 |
| 发明(设计)人: | 白朔;徐红军;吴峻峰;周序科;周金玉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号: | C23C16/442 | 分类号: | C23C16/442;C23C16/26 |
| 代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人: | 张志伟 |
| 地址: | 110016辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种制备大尺寸机械密封用各向同性热解炭材料的设备,具有中频感应电源、水冷系统、温控系统、沉积装置、气体流量控制和尾气处理系统,所述沉积装置为石墨锥形流化床沉积装置,沉积装置的反应器上装有旋转机构,由旋转机构驱动转动的沉积基体安装于旋转机构的主轴上,反应器上方设有粒子添加器,与反应器连通,反应器下方设有粒子搜集器,与反应器连通,反应器下端开口处设有气体分配板,气体分配板中心设有倒锥形开口。本实用新型设计了沉积基体旋转机构、粒子添加器和粒子搜集器。这些设计实现了各向同性热解炭材料在沉积基体上的连续、稳态和长时间沉积,为制备大尺寸机械密封用各向同性热解炭材料奠定了基础。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 制备 尺寸 机械 密封 各向同性 热解炭 材料 设备 | ||
【主权项】:
1、一种制备大尺寸机械密封用各向同性热解炭材料的设备,具有中频感应电源、水冷系统、温控系统、沉积装置、气体流量控制和尾气处理系统,其特征在于:所述沉积装置为石墨锥形流化床沉积装置,沉积装置的反应器(6)上装有旋转机构(3),由旋转机构驱动转动的沉积基体(4)安装于旋转机构的主轴上,反应器(6)上方设有粒子添加器(1),与反应器(6)连通,反应器(6)下方设有粒子搜集器(8),与反应器(6)连通,反应器(6)下端开口处设有气体分配板(7),气体分配板(7)中心设有倒锥形开口。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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