[发明专利]通过阴极沉积获得的非蒸发性吸气多层沉积物及其制造方法有效
| 申请号： | 200410049383.8 | 申请日： | 2004-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1572898A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | A·孔特;M·莫拉加 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;H01J7/18;B01J20/02;B01J20/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明公开了在具有高比表面积的非蒸发性吸气材料的层(11)上由活化温度低的不同的非蒸发性吸气合金的至少一层(12)形成的吸气多层材料，所述这两层均是通过阴极沉积获得的。本发明的沉积物显示出比由单一材料制造的沉积物好的气体吸附特征和低的活化温度。本发明还公开了制造这些沉积物的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 阴极 沉积 获得 蒸发 吸气 多层 沉积物 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种非蒸发性吸气材料的多层沉积物，它具有低的活化温度和大的表面积，其特征在于包括在载体(10)上的至少两层：直接沉积在所述载体上的第一层(11)，所述第一层由表面积等于其几何面积至少20倍的非蒸发性吸气材料制成，和在所述第一层上的具有低活化温度的非蒸发性吸气合金的至少一层第二层(12)，所述第二层的厚度不大于1微米，所述这两层中的任何一层是通过阴极沉积获得的，且没有将第一层的材料暴露于在所述第一层和第二层的沉积之间存在的反应性气体下。
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