[发明专利]通过阴极沉积获得的非蒸发性吸气多层沉积物及其制造方法有效
| 申请号： | 200410049383.8 | 申请日： | 2004-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1572898A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | A·孔特;M·莫拉加 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;H01J7/18;B01J20/02;B01J20/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 阴极 沉积 获得 蒸发 吸气 多层 沉积物 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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