[发明专利]一种用于扫描探针显微镜的金薄膜基底制作方法

摘要

本发明属于扫描探针显微镜中基底的制作方法。通过真空蒸镀的方法，在新解离的云母表面镀一层金薄膜，然后将此薄膜剥离于硅片的表面得到较平的金基底。此基底具有很好的平整度，可用做纳米笔书写，硫醇的自组装体系，生物分子DNA及蛋白质的原子力显微镜的可视化研究。

主权项

1、一种用于扫描探针显微镜的金薄膜基底制作方法，制作步骤如下：1)、以云母作模板，将云母解离，放入蒸镀设备中；2)、用纯度大于99.9％的金丝，在室温下，压力小于0.5×10-5Torr，以0.1nm/S的速度进行蒸镀，控制镀层的厚度150-200nm，为了便于粘接、剥离可在此镀层上电子束溅射10nm厚的钛膜，接着电子束溅射150nm厚的二氧化硅；3)、将硅片用体积比为3∶1的浓硫酸，过氧化氢加热处理，用乙醇、水超声洗涤；4)、硅片上滴一小滴a-氰基丙烯酸乙酯胶粘剂，将剪裁好的云母-金的金面朝下，轻轻的贴于硅片上，待胶干后，即得到硅-金-云母的夹心物；5)、用双面胶一层一层的剥离云母层，并用万用表检查剥离后的表面的导电性，直至表面具有了导电性，也可用机械剥离的方法直接将整块的云母剥离。