[发明专利]一种用于扫描探针显微镜的金薄膜基底制作方法有效
| 申请号: | 200410010647.9 | 申请日: | 2004-01-16 |
| 公开(公告)号: | CN1558424A | 公开(公告)日: | 2004-12-29 |
| 发明(设计)人: | 李壮;刘志国;马智勇;吴爱国;周化岚;魏刚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春应用化学研究所 |
| 主分类号: | G12B21/00 | 分类号: | G12B21/00;H01J37/20;G01N13/10 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 130022吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 扫描 探针 显微镜 薄膜 基底 制作方法 | ||
【权利要求书】:
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