[发明专利]带电粒子束装置和侦测样本的方法无效
| 申请号： | 03816224.5 | 申请日： | 2003-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1666101A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 伊戈尔·彼得罗夫;兹维加·罗森贝 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司;应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种射束导引方法及装置，用于空间地分隔开初级电荷粒子束BP及次级粒子束BS，其为与初级电荷粒子束交互作用后从样本2回返的结果。该初级电荷粒子束被导引沿着通过侦测器9上的开孔9A的第一轴OA’朝向射束导引装置，侦测器在开孔外具有电荷粒子侦测区9B。初级电荷粒子束的轨道会受到影响而造成初级电荷粒子束沿着大致平行于第一轴且与第一轴间隔开来的第二轴OA”前进至该样本。这会造成次级电荷粒子束前进至位于侦测器开孔外的侦测区。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 侦测 样本 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用来将初级带电粒子束与次级带电粒子束分隔开来的方法，次级带电粒子束是由初级带电粒子束与样本的相互作用产生的，该方法至少包含：(a)导引初级带电粒子束使之沿着第一轴通过侦测器上的开孔，所述侦测器具有位于开孔外部的带电粒子侦测区；(b)影响初级带电粒子束的轨道以提供初级带电束沿着大致平行于第一轴且与第一轴分隔开来的第二轴前进至样本，以使次级带电粒子束前进到侦测器的位于开孔外部的侦测区。
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