[发明专利]带电粒子束装置和侦测样本的方法无效
| 申请号： | 03816224.5 | 申请日： | 2003-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1666101A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 伊戈尔·彼得罗夫;兹维加·罗森贝 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司;应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 侦测 样本 方法 | ||
【说明书】：
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