[发明专利]整体式的可拆卸屏蔽罩组件有效
| 申请号： | 03801833.0 | 申请日： | 2003-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN1610766A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 艾伦·巴里·刘;伊利娅·拉维斯凯;迈克尔·罗森斯坦 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种更换真空室中消耗品的装置。一种整体式可拆卸屏蔽罩组件(100)被提供来快速地更换诸如屏蔽罩(145，150)之类的消耗品。屏蔽罩组件可以包括上接合器组件(110)、至少一个屏蔽罩构件(145，150)、覆盖环(155)和绝缘体构件(115)。屏蔽罩构件被设计成使得消耗品可以在一个步骤中被更换并允许所述室继续其维护循环。 | ||
| 搜索关键词： | 整体 可拆卸 屏蔽 组件 | ||
【主权项】：
1.一种用于半导体处理系统中的可拆卸屏蔽罩组件，包括：上接合器组件；至少一个屏蔽罩构件，固定于所述上接合器组件的上端；覆盖环，可拆卸地安置在所述至少一个屏蔽罩构件的下部；和绝缘体构件，被安装到所述上接合器组件的所述上端。
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