[发明专利]整体式的可拆卸屏蔽罩组件有效
| 申请号： | 03801833.0 | 申请日： | 2003-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN1610766A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 艾伦·巴里·刘;伊利娅·拉维斯凯;迈克尔·罗森斯坦 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 整体 可拆卸 屏蔽 组件 | ||
【说明书】：
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