[实用新型]基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置无效
| 申请号： | 03209960.6 | 申请日： | 2003-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN2655175Y | 公开（公告）日： | 2004-11-10 |
| 发明（设计）人： | 张彩妮;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B9/02;H01S5/00;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置，它包含有带驱动电源的调制光源，沿着该调制光源发出的光束的前进方向上置有光束准直物镜和反射镜，在反射镜的反射光束的前进方向上置有待测物体，在该待测物体反射光的前进方向上置有F－P板和分束镜，该分束镜的端口b透射光束方向上置有透镜和光电转换元件，该光电转换元件与连接计算机的模数转换元件相连，在该分束镜的端口c反射光束方向上置有CCD图像探测器，该CCD图像探测器与连接计算机的模数转换元件相连。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 板正 相位 调制 高精度 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种基于F-P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置，其特征在于它包含有带驱动电源(1)的调制光源(2)，沿着该调制光源(2)发出的光束的前进方向上置有光束准直物镜(3)和起反射镜(4)，在反射镜(4)的反射光束的前进方向上置有待测物体(5)，在被测物体(5)反射光的前进方向上置有F-P板(6)和分束镜(7)，分束镜(7)的端口b透射光束方向上置有透镜(8)和光电转换元件(9)，该光电转换元件(9)与连接计算机(13)的模数转换元件(10)相连，分束镜(7)的端口c反射光束方向上置有光电转换元件(11)，光电转换元件(11)与连接计算机(13)的模数转换元件(12)相连。
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