[实用新型]基于F－P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置无效
| 申请号： | 03209960.6 | 申请日： | 2003-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN2655175Y | 公开（公告）日： | 2004-11-10 |
| 发明（设计）人： | 张彩妮;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B9/02;H01S5/00;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 板正 相位 调制 高精度 位移 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
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