[发明专利]光阻帮浦喷洒侦测电路及其系统有效
| 申请号： | 03153892.4 | 申请日： | 2003-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1591188A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王景辉;陈宪忠;彭宗翰 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 马娅佳 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种光阻帮浦喷洒侦测电路，包括一第一继电器耦合一电磁阀以侦测该电磁阀的操作状态，一第二继电器耦合该第一继电器且被调整以因应该第一继电器的闭合而闭合，一传感器以检查一组件的操作状态，一第三继电器耦合该传感器，其中该传感器被调整以提供一信号致动该第三继电器，而且其中该第二继电器因应该第三继电器的闭合而跳脱，以及一第四继电器耦合该第一及第二继电器，其中当该第一继电器跳脱及该第二继电器闭合时该第四继电器闭合。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻帮浦 喷洒 侦测 电路 及其 系统 | ||
【主权项】：
1、一种光阻帮浦喷洒侦测电路，其特征在于，包括：一第一继电器耦合一电磁阀以侦测该电磁阀的操作状态；一第二继电器耦合该第一继电器，具被调整以因应该第一继电器的闭合而闭合；一传感器，以检查一组件的操作状态；一第三继电器耦合该传感器，其中该传感器被调整以提供一信号使该第三继电器闭合，而且其中该第二继电器因应该第三继电器的闭合而跳脱；以及一第四继电器耦合该第一及第二继电器，其中当该第一继电器跳脱及该第二继电器闭合时该第四继电器闭合。
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