[发明专利]光阻帮浦喷洒侦测电路及其系统有效
| 申请号： | 03153892.4 | 申请日： | 2003-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN1591188A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王景辉;陈宪忠;彭宗翰 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 马娅佳 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光阻帮浦 喷洒 侦测 电路 及其 系统 | ||
【权利要求书】：
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