[发明专利]导电性研磨垫及其制造方法无效
| 申请号： | 03148308.9 | 申请日： | 2003-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1565824A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 施文昌;张永忠;朱明癸 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B29C45/00 | 分类号： | B29C45/00;H01L21/304;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种导电性研磨垫及其制造方法，导电性研磨垫的制造方法，是先提供具有模腔的模具，之后在模腔中注入高分子发泡体，并使导电物质分散于高分子发泡体中；然后使高分子发泡体硬化成型，接着再进行脱模步骤，取得一研磨垫。导电性研磨垫，包括：一高分子发泡体；一导电物质分散于高分子发泡体中。导电物质选自导电高分子聚合物、抗静电剂、碳黑、金属粉末、导电性填充物以及导电性纤维其中之一。高分子发泡体包括聚氨酯、环氧树脂、聚氨树脂、美耐明树脂及相关的热固性树脂发泡体。由于研磨垫具导电性而可提升研磨效率，并延长使用寿命，降低成本；其可并行应用于电解研磨与一般研磨，而可提升研磨效率；其在不增加其它制程设备下即可制作出导电性研磨垫，更加适于实用。 | ||
| 搜索关键词： | 导电性 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种导电性研磨垫的制造方法，其特征在于其包括：提供一模具，该模具具有一模腔；在该模腔中注入一高分子发泡体，并且使一导电物质分散于该高分子发泡体中；使该高分子发泡体硬化成型；以及进行一脱模步骤，以取得一研磨垫。
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