[发明专利]导电性研磨垫及其制造方法无效
| 申请号： | 03148308.9 | 申请日： | 2003-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1565824A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 施文昌;张永忠;朱明癸 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B29C45/00 | 分类号： | B29C45/00;H01L21/304;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电性 研磨 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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