[发明专利]抛光垫及多层抛光垫有效
| 申请号： | 03140681.5 | 申请日： | 2003-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1494983A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 川桥信夫;长谷川亨;志保浩司;河村知男;河原弘二;保坂幸生 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明目的在于提供能有效抑制擦伤发生的抛光垫和多层抛光垫。本发明的抛光垫，其特征在于其中具有在抛光面侧形成的、且从呈环状、格状和螺旋状中选出至少一种形状的沟(a)、凹部(b)和贯穿抛光垫表里的通孔(c)中的至少一个部位，该部位内表面的表面粗糙度(Ra)处于20μm以下，用于化学机械抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 多层 | ||
【主权项】：
1.抛光垫，其特征在于其中具有在抛光面侧形成的、且从呈格状、环状和螺旋状中选出至少一种形状的沟(a)、凹部(b)和贯穿抛光垫表里的通孔(c)中的至少一个部位，该部位内表面的表面粗糙度(Ra)处于20μm以下，用于化学机械抛光。
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