[发明专利]抛光垫及多层抛光垫有效
| 申请号： | 03140681.5 | 申请日： | 2003-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1494983A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 川桥信夫;长谷川亨;志保浩司;河村知男;河原弘二;保坂幸生 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 多层 | ||
【说明书】：
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