[发明专利]衬底处理设备及方法和使用此方法处理的编码器刻度有效
| 申请号： | 02822641.0 | 申请日： | 2002-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1585685A | 公开（公告）日： | 2005-02-23 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·戴维·斯科特·埃琳;詹姆斯·雷诺兹·亨肖;大卫·罗伯茨·麦克默特里 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K26/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;谷慧敏 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明提供衬底处理方法和装置，以在衬底(10)上产生图形。实施例示出了以旋转编码器环(10)的形式的衬底(10)，其中旋转编码器环具有可由激光处理设备(122)产生的标记的图形，可由控制器(100，110)控制激光处理设备(122)来以正确的方式产生图形，同时在环(10)和激光处理设备(122)之间有连续的相对位移。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 设备 方法 使用 编码器 刻度 | ||
【主权项】：
1.一种处理衬底来在其上产生图形的方法，包括以任意合适顺序的下列步骤：提供衬底；提供衬底处理设备；提供控制系统；提供位移机构，其提供指示位移的位移信号；操作位移机构，以引起在衬底和处理设备之间的连续相对位移；操作控制系统，以监控那个位移信号并且使得在发生连续位移的同时，处理设备间隔处理衬底以产生图形；其中，进一步操作控制系统以执行定时比较步骤，用于同步位移信号和所述间隔。
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