[发明专利]衬底处理设备及方法和使用此方法处理的编码器刻度有效
| 申请号： | 02822641.0 | 申请日： | 2002-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1585685A | 公开（公告）日： | 2005-02-23 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·戴维·斯科特·埃琳;詹姆斯·雷诺兹·亨肖;大卫·罗伯茨·麦克默特里 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K26/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;谷慧敏 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 设备 方法 使用 编码器 刻度 | ||
【说明书】：
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