[发明专利]高重复率紫外准分子激光器无效
| 申请号： | 02808154.4 | 申请日： | 2002-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1507682A | 公开（公告）日： | 2004-06-23 |
| 发明（设计）人： | R·W·斯帕罗 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/22 | 分类号： | H01S3/22;G01N21/59 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及高重复率紫外准分子激光器(10)，它包括一激光束源和包含氟化镁的一个或多个窗口(16，18)。本发明的另一方面涉及一准分子激光器，它包括一激光束源、包含氟化镁的一个或多个窗口和对一个和多个窗口退火的源。本发明的又一方面涉及产生一预定窄宽度的激光束的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 重复 紫外 准分子激光 | ||
【主权项】：
1.一种产生大于或等于4千赫重复率准分子激光束的方法，其特征在于，所述方法包括：振荡激光束，借此激光束出射一腔的第一氟化镁晶体窗和使激光束经过所述腔的第二氟化镁晶体窗，以提供重复率大于或等于4千赫的准分子激光束。
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