[发明专利]高重复率紫外准分子激光器无效
| 申请号： | 02808154.4 | 申请日： | 2002-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1507682A | 公开（公告）日： | 2004-06-23 |
| 发明（设计）人： | R·W·斯帕罗 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/22 | 分类号： | H01S3/22;G01N21/59 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 重复 紫外 准分子激光 | ||
【说明书】：
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