[发明专利]光刻标线片的保护和转移

摘要

本发明涉及一种基片保护和转移系统，以及在光刻工具内转移一个基片由大气压至真空的方法。此系统包括一个或多个基片转移盒(111)。每个盒具有至少一个通气孔和至少一个过滤器。此系统还包括一个端部操作装置(113)，与一个机器人臂(115)匹配，以便能使基片(109)定位在一个盒(111)内，从而形成一个盒－基片装置。此系统还包括一个具有一个底板(711)和一个盖子(713)的箱子(701)。箱子(701)保持一个或多个盒－基片装置。用这种方式提供了一个箱子－盒－基片装置。为了转移基片，基片(109)首先装载进入一个可移动的基片转移盒(111)。随后，盒－基片装置装载进入箱子(701)。此箱子－盒－基片装置随后转移到真空外存储架的一个搁板上。

主权项

1.一种具有机器人臂的光刻工具用的标线片转移系统，它包括：(a)一个转位器，它存储一组标线片和一个可移动的标线片盒；(b)一个端部操作装置，与机器人臂连接，该端部操作装置接合上述的一组标线片之一以允许上述的一组标线片之一定位于上述的可移动的标线片盒之内和随后转移；以及(c)一个密封件，此密封件密封上述的可移动的标线片盒内的上述的一组标线片之一。