[发明专利]光刻标线片的保护和转移无效
| 申请号： | 02802985.2 | 申请日： | 2002-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN1473129A | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 圣地亚哥·E·德尔普埃尔托;迈克尔·A·德马尔科;格伦·M·弗雷德曼;豪尔赫·S·艾瓦尔蒂;詹姆斯·A·麦克莱 | 申请（专利权）人： | ASML美国公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郑修哲 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 标线 保护 转移 | ||
【说明书】：
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