[实用新型]硅微振动陀螺仪无效
| 申请号： | 02218376.0 | 申请日： | 2002-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN2516942Y | 公开（公告）日： | 2002-10-16 |
| 发明（设计）人： | 裘安萍;王寿荣;周百令;苏岩 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 南京经纬专利代理有限责任公司 | 代理人： | 沈廉 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 硅微振动陀螺仪是一种较高精度的陀螺仪,该陀螺仪由制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构的上层部分和制作在玻璃衬底上的信号引线的下层部分所组成,陀螺仪上层机械结构的内框架通过内扭杆与外框架相连,外框架通过外扭杆和横梁连于固定基座,陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线、驱动输入引线,敏感输出信号引线、反馈信号引线,上层机械结构的固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上,使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1、一种硅微振动陀螺仪，其特征在于该陀螺仪由上层制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构和下层制作在玻璃衬底上的信号引线所组成，陀螺仪上层机械结构的内框架(8)通过内扭杆(6a、6b、6c、6d)与外框架(7)相连，外框架(7)通过外扭杆(5a、5b、5c、5d、5e、5f)和横梁(9)连于固定基座(1a、1b、1c、1d)、陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线(10)、驱动输入引线(11a、11b、11c、11d)，敏感输出信号引线(13a、13b、13c、13d、13e、13f)，反馈信号引线(12a、12b)，上层机械结构的固定基座(1a、1b、1c、1d)对应安装在玻璃衬底上的固定基座键合点(14a、14b、14c、14d)上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。
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