[实用新型]硅微振动陀螺仪

权利要求书

1、一种硅微振动陀螺仪，其特征在于该陀螺仪由上层制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构和下层制作在玻璃衬底上的信号引线所组成，陀螺仪上层机械结构的内框架(8)通过内扭杆(6a、6b、6c、6d)与外框架(7)相连，外框架(7)通过外扭杆(5a、5b、5c、5d、5e、5f)和横梁(9)连于固定基座(1a、1b、1c、1d)、陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线(10)、驱动输入引线(11a、11b、11c、11d)，敏感输出信号引线(13a、13b、13c、13d、13e、13f)，反馈信号引线(12a、12b)，上层机械结构的固定基座(1a、1b、1c、1d)对应安装在玻璃衬底上的固定基座键合点(14a、14b、14c、14d)上，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。

2、根据权利要求1所述的硅微振动陀螺仪，其特征在于外框架(7)由对称的两组直线形梳状静电谐振器构成，每个静电谐振器由固定梳齿(2a、2b、2c、2d)与外框架(7)上的活动梳齿对插组成，内框架(8)由3组直线形敏感梳状电极(3)和3组直线形反馈梳状电极(4)组成，每组电极均由固定梳齿电极与活动梳齿电极交错对插组成，固定梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f)及反馈梳状电极(4a、4b、4c、4d、4e、4f)与内框架(8)上的活动梳齿构成梳齿差动电容。

3、根据权利要求1或2所述的硅微振动陀螺仪，其特征在于固定基座(1a、1b、1c、1d)和固定基座键合点(14a、14b、14c、14d)相连，固定梳齿(2a、2b、2c、2d)、固定敏感梳齿电极(3a、3b、3c、3d、3e、3f)和固定反馈梳齿电极(4a、4b、4c、4d、4e、4f)对应与下层玻璃衬底的键合点(15a、15b、15c、15d、16a、16b、16c、16d、16e、16f、17a、17b、17c、17d、17e、17f)相连。

4、根据权利要求3所述的硅微振动陀螺仪，其特征在于敏感梳状电极(3a、3b、3c、3d、3e、3f)与反馈梳状电极(4a、4b、4c、4d、4e、4f)均为不等距电极，即电极的左右间距不相等。