[发明专利]硅蓝宝石力敏传感器及其制备方法

摘要

一种硅蓝宝石力敏传感器及其制备方法，它包括钛合金应力杯及组装其上的硅蓝宝石应变片、焊盘和引线座组件，其技术要点是将应变片与应力杯封接成一体，应变片实时测量刻阻后，外引线电极通过固定在绝缘体上的引线座组件与焊盘相接。其操作步骤是将硅蓝宝石外延薄片掺杂；退火与氧化；刻焊盘窗口；掩膜溅铂；划片；封接与合金化同步进行；激光刻阻；装配；测试检验，即制成硅蓝宝石力敏传感器。它不仅结构可靠，装配容易，保持现有硅蓝宝石力敏传感器的优点，充分发掘出其应有性能，而且制造工艺简单，省工、省料，生产效率高，显著降低制造成本，提高产品的质量和测量精度，有效消除对环境的污染和对操作者的伤害。

主权项

1、一种硅蓝宝石力敏传感器，包括钛合金应力杯及组装其上的硅蓝宝石应变片、焊盘和引线座组件，其特征在于将硅蓝宝石应变片与钛合金应力杯静电封接或分子键合焊成一体，应变片实时测量刻阻后，外引线电极通过固定在绝缘体上的引线座组件与焊盘相接。