[发明专利]用于移动传感器的屈曲耦合块无效
| 申请号： | 02122166.9 | 申请日： | 2002-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1389392A | 公开（公告）日： | 2003-01-08 |
| 发明（设计）人： | P·G·哈特维尔;D·J·法森 | 申请（专利权）人： | 惠普公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;G01B7/00;//G01B10150 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,王忠忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测定动子(50)位置的微机电系统(MEMS)装置(10)。该MEMS装置(10)具有一与动子层(40)相连的底层(20)。该动子层(40)通过屈曲部分(80)与动子(50)相连。动子(50)相对于动子层(40)和底层(20)移动。该屈曲部分(80)促使该动子(50)回到力学平衡的初始位置。该屈曲部分(80)包括一些耦合块(100)来控制该动子(50)的移动。该MEMS装置(10)通过测定安置在该屈曲部分(80)的耦合块(100)上的动子电极(102)与安置在相邻层(20,30)上的相反电极(92)之间的电容来测定该动子(50)的位置。该耦合块(100)按与该动子(50)的一可测定关系移动。当该耦合块(100)移动时,该动子电极(102)与相反电极(92)之间的电容就发生变化。电容检测器(96)对该电极之间的电容进行分析就可测定出该动子(50)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 移动 传感器 屈曲 耦合 | ||
【主权项】：
1.一种在微机电系统(MEMS)装置(10)中测定动子(50)位置的系统，该系统包括：动子层(40)；动子(50)，它能相对于该动子层(40)移动；屈曲部分(80)，它将该动子(50)与该动子层(40)连接起来，该屈曲部分包括一动子电极(102)；及相反电极(92)，能与该动子电极(102)一起产生一电容，其中，该动子(50)移动就会引起该动子电极(102)相对于该相反电极(92)移动。
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