[发明专利]用于移动传感器的屈曲耦合块

权利要求书

1.一种在微机电系统(MEMS)装置(10)中测定动子(50)位置的系统，该系统包括：

动子层(40)；

动子(50)，它能相对于该动子层(40)移动；

屈曲部分(80)，它将该动子(50)与该动子层(40)连接起来，该屈曲部分包括一动子电极(102)；及

相反电极(92)，能与该动子电极(102)一起产生一电容，其中，该动子(50)移动就会引起该动子电极(102)相对于该相反电极(92)移动。

2.按照权利要求1所述的系统，其中：该屈曲部分(80)还包括：

耦合块(100)，它随该动子(50)移动而移动，其中，该动子电极(102)就设置在该耦合块(100)上；

第一连接器(82)，它将该耦合块(100)与该动子(50)连接起来；

第二连接器(84)，它将该耦合块(100)与该动子层(40)连接起来；

3.按照权利要求2所述的系统，其中：该耦合块(100)按一与该动子(50)移动的一已知关系移动。

4.按照权利要求1、2或3所述的系统，还包括：一与该动子层(40)相邻的第一层(30)，其中该相反电极(92)连接在该第一层(30)上。

5.按照权利要求1、2、3或4所述的系统，还包括：电容检测器(96)，它检测由多个动子电极(102)和相反电极(92)所产生的多个电容，并根据该多个电容值测定出该动子(50)的位置。

6.按照权利要求1、2、3、4或5所述的系统，其中：该MEMS装置(10)是一单个半导体晶片的一部分。

7.按照权利要求1、2、3、4、5或6所述的系统，还包括：第二层(20)，它与动子层(40)和第一层(30)这样平行放置，使得该动子层(40)位于该第一和第二层(30、20)之间。

8.一种在微机电系统(MEMS)装置(10)中使用的屈曲部分(80)，它用来将该MEMS装置(10)中的一动子(50)与一动子层(40)连接起来和控制该动子(50)相对于该动子层(40)的移动，该屈曲部分(80)包括：

耦合块(100)，它按照动子(50)相对于动子层(40)的移动而移动，该耦合块(100)包括一动子电极(102)，这电极和设置在这动子电极(102)邻近的相反电极(92)产生电容，该相反电极(92)相对于该动子层(40)来说是固定放置的，从而该电容是与该动子(50)的位置相关的；

第一连接器(82)，它将该耦合块(100)与该动子(50)连接起来；

第二连接器(82)，它将该耦合块(100)与该动子层(40)连接起来。

9.按照权利要求8所述的屈曲部分(80)，其中：相反电极(92)与相邻于动子层(40)的分离层(20，30)相连，以及其中动子(50)的移动会引起动子电极(102)和相反电极(92)之间重叠面积的变化。

10.按照权利要求8或9所述的屈曲部分(80)，其中：第一连接器(82)直接连接在耦合块(100)与动子(50)之间，而第二连接器(84)直接连接在耦合块(100)与动子层(40)之间。