[发明专利]用于光致抗蚀剂溶解液的消泡剂组合物无效
| 申请号： | 02118847.5 | 申请日： | 2002-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1385755A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | 驮栗毛真;木下泰彦 | 申请（专利权）人： | 三乃可株式会社;旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B01D19/04;B01F17/42 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王维玉,丁业平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于光致抗蚀剂溶解液的具有低产生凝聚物量和充分消泡效果的消泡剂,添加该消泡剂的光致抗蚀剂溶解液、使用该光致抗蚀剂溶解液的溶解方法。其特征是含有式(1)表示的化合物A和化合物B作为必要成分,R－O(CH2CH2O)m－(CH2CH(CH3)O)n－H…(1)，其中,R表示碳数10～22的直链或支链烷基、m表示8～20、n表示10～30的数。化合物B是从丙二醇、丙三醇、三羟甲基丙烷中选出的至少一种与还氧丙烷加成后,再与环氧乙烷加成得到的化合物,其重均分子量是1500～5000,而且聚环氧乙烷基占整个化合物的比例是5～25重量%。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光致抗蚀剂 溶解 消泡剂 组合 | ||
【主权项】：
1.用于光致抗蚀剂溶解液的消泡剂组合物，其特征在于含有式(1)表示的化合物A和化合物B作为必要成分，R-O(CH2CH2O)m-(CH2CH(CH3)O)n-H…(1)其中，R表示碳数10～22的直链或支链烷基、m表示8～20、n表示10～30的数，化合物B是从丙二醇、丙三醇、三羟甲基丙烷中选出的至少一种与环氧丙烷加成后，再与环氧乙烷加成得到的化合物，其重均分子量是1500～5000，而且聚环氧乙烯基在整个化合物中所占的比例是5～25重量％。
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