[发明专利]氮化碳超硬薄膜镀覆靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 02115767.7 | 申请日： | 2002-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1164790C | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 邹庆化 | 申请（专利权）人： | 邹庆化 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430073湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种氮化碳超硬薄膜镀覆靶材及其制备方法。氮化碳超硬薄膜镀覆靶材，由二种靶材组合，分别为钛合金靶或铬合金靶与石墨靶，其特征在于各加入稀土，稀土含量占总重量百分比为0.01-5。本发明在多弧等离子体镀覆设备中使用，对工件进行镀覆，使工件表面镀覆超硬材料氮化碳薄膜。工件如：机械行业的齿轮、刀具和纺织器材上的钢领、钢圈、锭子及各种有耐磨性、硬度要求的耐磨件、刀具及模具，工件镀覆的超硬氮化碳结晶性好、稳定性好、可重复性强。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 碳超硬 薄膜 镀覆 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、氮化碳超硬薄膜镀覆靶材，由二种靶材组合，分别为钛合金靶或铬合金靶与石墨靶，其特征在于各加入稀土，稀土含量占总重量百分比为0.01-5。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于邹庆化，未经邹庆化许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02115767.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：混合粉末热喷射方法
- 下一篇：等离子体连续聚合处理装置的绝缘结构
- 同类专利
- 专利分类
