[发明专利]氮化碳超硬薄膜镀覆靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 02115767.7 | 申请日： | 2002-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN1164790C | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 邹庆化 | 申请（专利权）人： | 邹庆化 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430073湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化 碳超硬 薄膜 镀覆 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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