[发明专利]在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法无效
| 申请号： | 02111906.6 | 申请日： | 2002-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1461820A | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张志滨;胡钧;徐洪杰;朱德彰;李民乾 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海原子核研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 肖剑南 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种利用荷能团簇在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法，包括下列步骤：溅射室的溅射靶架放置溅射靶材；在沉积室的靶架上粘贴扫描探针显微镜(AFM)的悬臂，并确保针尖向外；使靶架和待沉积薄膜的AFM悬臂处于一铜屏蔽室中；用两套真空系统同时分别对溅射室和沉积室抽真空；在溅射室中充入惰性气体Ar，使溅射室真空度达8－20Pa，沉积室真空度达3×10－4Pa；溅射靶上施加450－550V电压，使Ar产生辉光放电；在沉积室的靶架和AFM悬臂施加沉积偏压，而针尖处于一屏蔽室内；溅射时间1－10分钟后，在针尖上沉积一层导电薄膜。该金属薄膜具有致密性和附着力强的特点，利用荷能团簇沉积薄膜的针尖具有较长的使用寿命和较高的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 悬臂 及其 针尖 沉积 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用荷能团簇在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法，其特征在于该方法包括下列步骤：(1)在荷能团簇沉积装置的溅射室的溅射靶架放置溅射靶材；(2)在荷能团簇沉积装置的沉积室的靶架上粘贴扫描探针显微镜(AFM)的悬臂，并确保针尖向外；(3)使靶架和待沉积薄膜的AFM悬臂处于一铜屏蔽室中；(4)用两套真空系统同时分别对溅射室和沉积室抽真空；(5)在溅射室中充入惰性气体Ar，使溅射室真空度达8-20Pa，沉积室真空度达3×10-4Pa；(6)溅射靶上施加450-550V电压，使Ar产生辉光放电；(7)在沉积室的靶架和AFM悬臂施加沉积偏压，而针尖处于一屏蔽室内；(8)溅射时间1-10分钟后，在针尖上沉积一层导电薄膜。
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