[发明专利]在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法无效
| 申请号： | 02111906.6 | 申请日： | 2002-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1461820A | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 张志滨;胡钧;徐洪杰;朱德彰;李民乾 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海原子核研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 肖剑南 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 悬臂 及其 针尖 沉积 薄膜 方法 | ||
【说明书】：
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