[发明专利]真空成膜装置无效
| 申请号： | 02107382.1 | 申请日： | 2002-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1385554A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | 冈本浩一;福田祥慎 | 申请（专利权）人： | 新明和工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 杨梧,马高平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种真空成膜装置,包括用于保持内部空间的真空氛围气的成膜用真空腔和为辅助成膜而在所述真空腔内使用的辅助器具,所述辅助器具通过设于所述真空腔的开口部跨所述真空腔的内外而设置,固定于所述真空腔外设置的静止结构件上,同时,通过由可维持所述真空腔内的真空氛围气的材质形成并具有弹性的连接部件安装在所述真空腔上。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 | ||
【主权项】：
1、一种真空成膜装置，包括用于保持内部空间的真空氛围气的成膜用真空腔和为辅助成膜而在所述真空腔内使用的辅助器具，其特征在于，所述辅助器具通过设于所述真空腔的开口部跨所述真空腔的内外而设置，固定于所述真空腔外设置的静止结构件上，同时，通过由可维持所述真空腔内的真空氛围气的材质形成并具有弹性的连接部件安装在所述真空腔上。
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