[发明专利]远红外线干燥装置、干燥装置构成体及干燥方法无效
| 申请号： | 02106500.4 | 申请日： | 2002-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN1374494A | 公开（公告）日： | 2002-10-16 |
| 发明（设计）人： | 铃木昇 | 申请（专利权）人： | 大东制机株式会社 |
| 主分类号： | F26B3/30 | 分类号： | F26B3/30;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 据由使远红外线对涂布在印刷基板的光阻油墨(resistink)放射的状态,可从其表面使光阻油墨(resistink)中的溶剂迅速向大气排出,而在印刷基板的后续工艺进行的微影(lithography)工艺,能防止发生微细配线图案(pattern)的断线。其解决的手段从具有金属表面的远红外线放射层,对印刷基板放射波长约3～约6μ的远红外线。并向该基板喷出加压媒体,以使此被干燥物体的温度在约180℃以下。 | ||
| 搜索关键词： | 红外线 干燥 装置 构成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种远红外线干燥装置，其特征是，该装置包括：一远红外线放射体，从具有金属表面的远红外线放射层放射出相当于涂布在被干燥物体基板的材料具有的最大吸光度的波长约3～约6μ的远红外线；一放射时间可变装置使远红外线在所定的时间放射；一距离可变装置使该远红外线放射体和被干燥物体的距离成为可变；一温度调节装置调节干燥处理室内温度；以及一加压媒体喷出装置向该基板喷出加压媒体，以使该被干燥物体温度在约180℃以下。
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