[发明专利]远红外线干燥装置、干燥装置构成体及干燥方法

权利要求书

1.一种远红外线干燥装置，其特征是，该装置包括：

一远红外线放射体，从具有金属表面的远红外线放射层放射出相当于涂布在被干燥物体基板的材料具有的最大吸光度的波长约3～约6μ的远红外线；

一放射时间可变装置使远红外线在所定的时间放射；

一距离可变装置使该远红外线放射体和被干燥物体的距离成为可变；

一温度调节装置调节干燥处理室内温度；以及

一加压媒体喷出装置向该基板喷出加压媒体，以使该被干燥物体温度在约180℃以下。

2.一种远红外线干燥装置，其特征是，该装置包括：

一远红外线放射体是从具有金属表面的远红外线放射层放射出相当于涂布在被干燥物体基板的材料具有的最大吸光度的波长约3～约6μ的远红外线：

一放射时间可变装置，使远红外线在所定的时间放射；

一距离可变装置，使该远红外线放射体和被干燥物体的距离成为可变；

一温度调节装置调节干燥处理室内温度；

一加压媒体喷出装置向该基板喷出加压媒体，以使该被干燥物体温度在约180℃以下；以及

一搬送装置夹持该被干燥物体基板的两端，以便搬送该基板。

3.一种远红外线干燥装置，其特征是，该装置包括：

一远红外线放射体，从具有金属表面的远红外线放射层放射出相当于涂布在被干燥物体基板的材料具有的最大吸光度的波长约3～约6μ的远红外线；

一加压媒体喷出装置，向该基体喷出加压媒体，以使该被干燥物体温度在约180℃以下；

一温风循环路，使干燥处理室内的温风再度循环至处理室；

一排气路，使干燥处理室内的温风向大气排出；

一搬送装置，搬送该被干燥物体基板，该搬送装置具有：

一网带(mesh belt)，其载置于该搬运装置能吸入远红外线向被干燥物体放射时所排出的溶剂等；

多个的媒体吸入箱体，在上面具有多数的细孔，该等箱体具备一大气吸入用箱体配设在干燥处理室外和，一温风吸入用箱体配设在干燥处理室内。

4.如权利要求1、2或3所述的远红外线干燥装置，其特征是，该加压媒体喷出置系具有多个个的细缝(slit)孔喷嘴(nozzle)者。

5.如权利要求4所述的远红外线干燥装置，其特征是，该加压媒体喷出装置从多个的细缝(slit)孔喷嘴喷出与该被干燥物体基板的表面温度大略相等的温风。

6.一种干燥装置构成体，其特征是，该构成体包括：

一远红外线干燥装置，包含：

一远红外线放射体，从具有金属表面的远红外线放射层放射出相当于涂布在被干燥物体基板的材料具有的最大吸光度的波长约3～约6μ的远红外线；

一放射时间可变装置，使远红外线在所定的时间放射；

一距离可变装置，使该远红外线放射体和被干燥物的距离成为可变；

一温度调节装置，调节干燥处理室内温度；

一加压媒体喷出装置，向该基板喷出加压媒体，以使该干燥物体温度在约180℃以下；以及

一紫外线照射装置，在该远红外线对该被干燥物体基板放射后，以紫外线照射涂布在该被干燥物体基板的材料。

7.一种干燥装置构成体，其特征是，该构成体包括：

一远红外线干燥装置，包括：

一远红外线放射体，从具有金属表面的远红外线放射层放射出相当于涂布在被干燥物体基板的材料具有的最大吸光度的波长约3～约6μ的远红外线；

一放射时间可变装置，使远红外线在所定时间放射；

一距离可变装置，使该远红外线放射体和被干燥物体基板的距离成为可变；

一温度调节装置，调节干燥处理室内温度；

一加压媒体喷出装置，向该基板喷出加压媒体，以使该干燥干燥物体温度在约180℃以下；

一紫外线照射装置，在该远红外线向该被干燥物体基板放射后，以紫外线照射涂布在该被干燥物体基板的材料；以及

一搬送装置，夹持该被干燥物体的两端，以搬送该基板。