[发明专利]液态高纯度物质的储存容器

摘要

本发明涉及一种供应给一消耗装置的液态物质的储存容器,其设有一在被更换时用以清洁各连接件的装置,并具有配置一截流装置及一接头的连接件,以便连接到一配置一接头的连接件,该接头连接至配备有截流装置的高压气体管线,另设有一配置一截流装置及一接头的连接件,以便把储存容器内的一排放管线连接到一配置一接头与一截流装置的连接件,从而使该储存容器内受到高压气体压力的物质供应到消耗装置。另外还设有一用以冲洗这些连接件的溶剂容器,以及一被抽真空以便作为真空源而将溶剂吸入连接件中的废溶剂容器。其中,该溶剂容器和/或废溶剂容器与储存容器共同构成一套装件。

主权项

1.一种供应给一消耗装置的液态物质的储存容器，其具有一在该储存容器被更换时用以清洁各连接件的装置，该储存容器具有一配置一截流装置及一接头的连接件，以便连接到一配置一接头的连接件，该接头连接至配备截流装置的高压气体管线，另外还设有一配置一截流装置及一接头的连接件，以便把储存容器内的一排放管线连接到一配置一接头与一截流装置的连接件上，使在容器内接受高压气体压力的物质供应到消耗装置，还设有可供冲洗这些连接件的溶剂容器、一个废溶剂容器和一个可将溶剂吸入所设各连接件的真空源，其中，该溶剂容器(23)和/或形成真空源的真空容器(27)与储存容器(1)共同构成一套装件(30)。