[发明专利]液态高纯度物质的储存容器

权利要求书

1.一种供应给一消耗装置的液态物质的储存容器，其具有一在该储存容器被更换时用以清洁各连接件的装置，该储存容器具有一配置一截流装置及一接头的连接件，以便连接到一配置一接头的连接件，该接头连接至配备截流装置的高压气体管线，另外还设有一配置一截流装置及一接头的连接件，以便把储存容器内的一排放管线连接到一配置一接头与一截流装置的连接件上，使在容器内接受高压气体压力的物质供应到消耗装置，还设有可供冲洗这些连接件的溶剂容器、一个废溶剂容器和一个可将溶剂吸入所设各连接件的真空源，其中，该溶剂容器(23)和/或形成真空源的真空容器(27)与储存容器(1)共同构成一套装件(30)。

2.根据权利要求1所述的储存容器，其特征在于，该废溶剂容器与储存容器(1)共同构成一套装件(30)。

3.根据权利要求1所述的储存容器，其特征在于，该真空容器构成所述的废溶剂容器。

4.根据权利要求1或3所述的储存容器，其特征在于，该真空容器(27)装有固体吸收剂(28)。

5.根据前述任一权利要求所述的储存容器，其特征在于，该溶剂容器(23)、真空容器(27)和/或废溶剂容器可经由截流装置(25，26)被连接到高压气体管线(3)的连接件(13)和排放管线(17)的连接件(18)。

6.根据前述任一权利要求所述的储存容器，其特征在于，该高压气体管线(3)的连接件(13)和排放管线(17)的连接件(18)经由配置一截流装置(20)的连接管线(22)相连接。

7.根据前述任一权利要求所述的储存容器，其特征在于，该高压气体管线(3)和排放管线(17)的连接件(13，18)的截流装置(15，19)与使溶剂容器(23)、真空容器(27)和/或废溶剂容器连接到高压气体管线(3)和排放管线(17)的连接件(13，18)的截流装置(25，26)设在一盖板(41)上，该盖板(41)设有若干可供连接件(13，18)连接到储器容器(1)内部与排放管线(17)和/或连接管线(22)的通道。

8.根据权利要求7所述的储存容器，其特征在于，该凸缘(41)闭合储存容器(1)的开口。

9.根据前述任一权利要求所述的储存容器，其特征在于，该高压气体管线(3)和排放管线(17)的连接件(13，18)的截流装置(15，19)和/或使溶剂容器(23)、真空容器(27)和/或废溶剂容器连接到连接件(13，18)的截流装置(25，26)，和/或连接管线(22)的截流装置(20)，被设成可经由控制线路(31-34)自动作业。

10.根据权利要求9所述的储存容器，其特征在于，截流装置(14，19，20，25，26)的控制线路(31-34)通过一准备与一配合部件装配的插头型部件(37)连接，以便与一控制器(39)连接。

11.根据权利要求10所述的储存容器，其特征在于，该插头型部件(37)以一快速接头构成。

12.根据权利要求10或11所述的储存容器，其特征在于，该储存容器(1)装有一液位测量装置，其管线被连接到插头型部件(37)，并使其与一液位指示器相连。

13.根据前述任一权利要求所述的储存容器，其特征在于，该储存容器设在一圆筒体内部，该储存容器(1)与圆筒体环周壁面(45)之间的空间构成废溶剂容器(27)。

14.根据权利要求13所述的储存容器，其特征在于，该溶剂容器(23)在储存容器(1)与环周壁面(45)之间的空间内围绕储存容器(1)设置。