[发明专利]离子注入机中的高效率扫描有效
| 申请号： | 01809373.6 | 申请日： | 2001-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1429397A | 公开（公告）日： | 2003-07-09 |
| 发明（设计）人： | 唐纳德·W·伯里安 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备联合公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/147 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 离子注入装置包括用来产生离子束的离子束发生器、用来在第一方向上横越工件扫描离子束的扫描器、用来在第二方向上这样平移工件以使离子束分布在工件上的机械平移器、以及用来控制平移速度和射束扫描宽度以限制离子束离开工件的时间的控制器。在半导体晶片的情况下，在射束扫描宽度中平移速度是受控的，以便产生大体上圆形的扫描图案。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 中的 高效率 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种用于工件的离子注入的方法，该方法包括下述步骤：产生离子束；作为对定义射束扫描宽度的扫描波形的反应在第一方向上横越工件扫描离子束；相对于离子束在第二方向上以平移速度这样平移工件以致离子束分布在工件上；以及控制平移速度和射束扫描宽度，以便限制离子束脱离工件的时间。
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