[发明专利]离子注入机中的高效率扫描有效
| 申请号： | 01809373.6 | 申请日： | 2001-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1429397A | 公开（公告）日： | 2003-07-09 |
| 发明（设计）人： | 唐纳德·W·伯里安 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备联合公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/147 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 中的 高效率 扫描 | ||
【说明书】：
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