[发明专利]薄膜晶体管的制造方法和液晶显示装置无效
| 申请号： | 01805072.7 | 申请日： | 2001-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN1401142A | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 生田茂雄 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L21/265;H01L21/306;H01L21/316;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘宗杰,叶恺东 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供下述的薄膜晶体管的制造方法和利用该制造方法制造的液晶显示装置，其中，使含有臭氧的水与在基板上形成的半导体膜的表面接触以便在该表面上形成表面氧化层，通过在至少已露出的半导体膜的表面上形成了表面氧化层的状态下除去为了刻蚀、杂质离子注入等而形成的掩模来保护半导体膜的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制造 方法 液晶 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管的制造方法，其特征在于，包含下述工序：使含有臭氧的水与在基板上形成的半导体膜的表面接触以便在上述表面上形成表面氧化层的工序；在上述半导体膜上形成规定图形的掩模的工序；进行从使用上述掩模进行刻蚀和杂质离子的注入中选出的某一处理的工序；以及在至少已露出的上述半导体膜的表面上形成了上述表面氧化层的状态下除去上述掩模的工序。
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