[发明专利]铈系研磨材料及铈系研磨材料的评估方法无效
| 申请号： | 01804918.4 | 申请日： | 2001-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN1400995A | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 山崎秀彦;内野义嗣;高桥和明 | 申请（专利权）人： | 三井金属鉱业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C01F17/00;B24B37/00;G01N23/20;G01N33/40 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明旨在提供一种能形成高精度的研磨面、切削性良好的铈系研磨材料。还提供一种能比较简易地评价铈系研磨材料的方法。为了达到上述目的，使含有40重量％以上(与全部稀土类氧化物的比例)氧化铈的铈系研磨材料中，对应于铈系研磨材料的重量含有以原子重量换算的0.5～10重量％的氟，同时还含有由粉末X射线衍射法测得的晶格常数为0.544～0.560nm的结晶构成的研磨粒子。本发明的铈系研磨材料的评价方法是取作为评价对象的铈系研磨材料，用粉末X射线衍射法对其进行分析，从规定的四个不同区域出现的最大峰中，求出至少1个最大峰的衍射角(θ)，再由此算出构成研磨粒子的结晶的晶格常数。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 材料 评估 方法 | ||
【主权项】：
1.铈系研磨材料，所述研磨材料中含有40重量％以上的氧化铈(与全部稀土类氧化物的比例)，其特征在于，对应于铈系研磨材料的重量，含有以原子重量换算的0.5～10重量％的氟，同时还含有由粉末X射线衍射法测得的晶格常数在0.544～0.560nm的范围内的结晶构成的研磨粒子。
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