[发明专利]铈系研磨材料及铈系研磨材料的评估方法

权利要求书

1.铈系研磨材料，所述研磨材料中含有40重量％以上的氧化铈(与全部稀土类氧化物的比例)，其特征在于，对应于铈系研磨材料的重量，含有以原子重量换算的0.5～10重量％的氟，同时还含有由粉末X射线衍射法测得的晶格常数在0.544～0.560nm的范围内的结晶构成的研磨粒子。

2.铈系研磨材料的评估方法，其特征在于，取作为评估对象的铈系研磨材料，用粉末X射线衍射法对所取铈系研磨材料进行分析，从下述各区域出现的最大峰中求出至少1个最大峰的衍射角(θ)，再由此计算出构成研磨粒子的结晶的晶格常数，

(a)2θ＝A₁°～A₂°

(b)2θ＝B°±3.0°

(c)2θ＝C°±3.0°

(d)2θ＝D°±3.0°

若设定粉末X射线衍射法使用的X射线波长为λ(nm)，则上式中的A₁、A₂、B、C、D由下式表示：

A₁＝360÷π×sin^-1(1.127174×λ)

A₂＝360÷π×sin^-1(3.245569×λ)

B＝360÷π×sin^-1(1.843583×λ)

C＝360÷π×sin^-1(2.588335×λ)

D＝360÷π×sin^-1(3.047405×λ)

3.如权利要求2所述的铈系研磨材料的评估方法，其特征还在于，进行粉末X射线衍射分析时所用的靶为铜靶，以CuKα₁射线产生的X衍射射线为基础求出衍射角，再计算出晶格常数。